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亚博2021最新版网址-努力打破国外对光刻胶垄断:我国“冰刻2.0”三维微纳加工系统雏形初现

作者:亚博2021最新版网址 发布时间:2021-09-13

日前,西湖年夜学仇旻研究团队在《纳米快报》《纳米标准》《利用概况科学》等期刊上持续颁发一系列研究功效,雕镂小到微米乃至纳米级此外“冰雕”游刃有余,从切确定位到精准节制雕镂力度,再到以“冰雕”为模具建造布局、加工器件,一套以“waferin,deviceout”(原料进,制品出)为方针的“冰刻2.0”三维微纳加工系统雏形初现。

光刻胶是微纳加工进程中很是要害的材料。有专家暗示,中国要制造芯片,光有光刻机还不敷,还得打破国外对“光刻胶”的垄断。

这个研发带来明显极具前景,为什么如许说呢?零下140摄氏度摆布的真空情况,能让水蒸气凝华成无定形冰。“无常形”的水蒸气可以包裹肆意外形的概况,哪怕是极小的样品也没有问题;水蒸气轻若无物,使在懦弱材料上加工酿成可能。对应“光刻胶”,他们给这层水冰起名“冰胶”,给冰胶介入的电子束光刻手艺起名“冰刻”。

现实上,一旦将光刻胶换成了冰胶,还可以或许极年夜地简化加工流程,规避洗胶带来的污染,和难以洗净的光刻胶残留致使良品率低等问题。“冰刻”只需要让冰熔化或升华成水蒸气便可,恍如这层冰胶不曾存在过一样。

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上述团队在最新颁发的文章结尾,他们用一种很是科幻的体例瞻望了“冰刻”的将来。毫无疑问,将来环绕“冰刻”的研究,将聚焦在传统“光刻”能力没法企和的范畴。

受益在水这类物资得天独厚的生物相容性,在生物样本上“冰刻”光子波导或电子电路有望得以实现。